什么是真空泵，真空泵的工作原理

什么是真空泵，真空泵的工作原理

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。

通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。

真空泵可以定義為：操縱機器、物理、化學或物理化學的方式對被抽容器舉行抽氣而的到真空的器件

或配置。隨著真空應用的生長，真空泵的種類已生長了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十

萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范圍。由于真空應用部分所

涉及的事變壓力的范圍很寬，因此任何一種范例的真空泵都小概*實用于全部的事變壓力范圍，只

可以根據不同的事變壓力范圍和不同的事變要求，利用不同范例的真空泵。為了利用方便和種種真空

工藝進程的必要，偶爾將種種真空泵按其性可以要求組合起來，以機組型式應用即：真空機組。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、羅茨泵和將多種真空泵組合起來以機組型式應用的真空機

組等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中*的主力泵種。近年來， 伴隨著我國

經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等

因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

1、液環式真空泵：將帶有多葉片的轉子偏愛裝在泵殼內。當它旋轉時，把事變液體拋向泵殼形成與泵

殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋變化容吸排氣腔。事變液體通常為

水或油，以是亦稱為水環式真空泵或油環式真空泵。

2、干式真空泵：它是一種泵內不消油類(或液體)密封的變容真空泵。由于干式真空泵泵腔內不必要事

變液體，因此，實用于半導體行業、化學產業、制藥產業及食品行業等必要無油干凈真空情況的工藝

場合。

3、羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁

之間均保持肯定的間隙。

真空泵的工作原理：

在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，

真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強增大，終通過油封將吸入的氣

體排出泵外。