半導(dǎo)體制造業(yè)使用進(jìn)口真空泵的原理

半導(dǎo)體制造業(yè)使用進(jìn)口真空泵的原理
    進(jìn)口真空泵顧名思義就是抽真空的泵，提供抽除真空的一種機(jī)械設(shè)備，目前我國制造業(yè)大部分是使用進(jìn)口真空泵，我發(fā)真空泵發(fā)展史僅有50年，使用行業(yè)非常廣泛，尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)。
    真空泵作為半導(dǎo)體制造行業(yè)的一種主要的生產(chǎn)設(shè)備，愈來愈要求安全可靠。當(dāng)烴油密封的旋轉(zhuǎn)泵用于光刻去膠等有氧的場合，有時(shí)會(huì)發(fā)生爆炸。原子化的油霧、熱的油蒸氣、摩擦、壓縮、較高的溫度、外 物、可能的靜電等，一旦與氧結(jié)合便可能危害環(huán)境。而這些因素，真空泵里都有。在泵里采用氮等惰性氣體作為氣爆，并用氮來減小油箱里的氧濃度(使氧濃度低于 25%)，可使發(fā)生爆炸的危險(xiǎn)性減小.這個(gè)方法已被半導(dǎo)體制造行業(yè)采用.新的真空泵將更能適應(yīng)集成電路制造工藝中的腐蝕要求，例如可用陶瓷、耐熔金屬和貴金屬制造。
    展望 50年后，許多半導(dǎo)體制造甚至可以帶到外層空間去進(jìn)行!未來的真空泵將僅僅是工藝處理室后面的一只面向著深遠(yuǎn)莫測(cè)外層空間的閥門而已!